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QuickPRO-RPS--旋轉剖面儀

簡要描述:專為測量旋轉對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 864

詳細介紹

專為測量旋轉對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡:

•非接觸、高分辨率的高速彩色共聚焦點傳感器

•高精度對中/傾斜工作臺,帶可調(diào)壓電桿探頭,可快速輕松地對齊樣品/卡盤/夾具

•納米編碼C/R/Z (旋轉, 徑向, 垂直)運動,具有直接驅動旋轉-空氣軸承 (C軸)和直接驅動線性機械軸承(R&Z軸)

•花崗巖底座,具有尺寸穩(wěn)定的因瓦合金計量框架


示例數(shù)據(jù):

樣品是具有衍射功能的DPT非球面

•在QuickPRO-RPS上測量

•移除多項形狀后顯示的數(shù)據(jù)

- 非球面凹陷約為800µm

- 衍射臺階高度約為1µm



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